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上海硅酸盐所获胜研制出大尺寸和庞杂样式透后

作者:admin发布时间:2020-03-23点击:108

  )等透后陶瓷是紧急的激光基质资料,同时,它正在可见-中红表波段透过率高,是高温窗口或中红表光学窗口、半球形整流罩的紧急候选资料。另表,它们还拥有极佳的抗等离子体腐蚀机能,正在半导体刻蚀设备中拥有紧急的行使代价。中科院上海硅酸盐查究所组织陶瓷核心透后陶瓷课题组正在大尺寸和庞大形势的YAG和Y透后陶瓷的查究上赢得紧急进步。由王士维查究员指挥的查究团队通过粉体合成、烧结助剂采选、以及成型和烧结工艺的优化,制备出了高质地的大尺寸和庞大形势的YAG和Y

  正在YAG透后陶瓷方面,采用冷等静压成型工艺,胜利制备出直径达235mm、厚度7.5mm的YAG透后陶瓷圆板,正在400nm和1100nm处的直线)。这是目前采用单晶滋长方式无法到达的大尺寸,也是国际上公然报道的最大尺寸的、高光学质地的YAG透后陶瓷。永别制备出高光学质地的、直径达85mm和210mm的YAG透后陶瓷球罩样品(图2)。YAG透后陶瓷拥有优异的呆滞机能,其抗弯强度高达350MPa,其红表截止波长优于蓝宝石单晶。上述查究,国际上未见肖似报道,增加了我国正在YAG透后陶瓷光窗/头罩查究方面的空缺。

  正在Y2O3透后陶瓷查究经过中,永别通过胶态成型工艺和冷等静压工艺,制备绝伦种规格和尺寸的高光学质地透后陶瓷样品,部门规格曾经杀青幼批量制备。图3所示为所制备的Y2O3透后陶瓷球罩平静板样品的实物照片,图4所示为它们正在可见和近红表波段的光学透过率。所制备的Y2O3透后陶瓷正在紫表、可见和中红表波段均拥有优异的光学透过机能,其红表截止波长长达8.0µm,尽管正在6.0µm波长,其3mm厚度样品的光学透过率已经维系正在80%以上。Y2O3透后陶瓷正在中红表波段拥有很是低的红表发射率,可用于对红表发射率哀求苛刻的光窗/头罩范围。

  图1 直径达235mm、厚度7.5mm的YAG透后陶瓷圆板及其透过率弧线mm的YAG透后陶瓷头罩

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